三氟化氯（chlorine trifluoride）是无机化合物，分子式为ClF₃，分子量为92.45。有毒，有强腐蚀性，常温下为无色气体，降温变为绿色液体。可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。中文名三氟化氯英文名chlorine trifluoride化学式ClF3分子量92.45CAS登录号7990-91-2EINECS登录号232-230-4熔点-76.3℃沸点11.3℃密度相对密度1.825 -78℃时为2.026外观无色气体或绿色液体应用用作氟化剂，燃烧剂，推进剂中的氧化物，高温金属的切割油等。（1）ClF3主要用来生产六氟化铀（UF6），以及核燃料加工和后期处理，主要反应方程式：U + 3 ClF3→ UF6+ 3 ClF（2）在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。与其它代替的清洁剂不同，三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化，因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。